SI-F80R 系列_测量仪 / 测量传感器_厦门长控自动化设备有限公司

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SI-F80R 系列

SI-F80R 系列
分光干涉式晶片厚度计

采用近红外 SLD，即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异，也可实现准确的生产线上测量。

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