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高精度位移传感器
 

光纤同轴位移传感器

ZW系列

超小型、超轻量。无论是什么材质都可稳定测量。

超小型、超轻量

可安装到其它装置的狭小空间内

这是一款很容易安装到其它装置、24mm的小型轻量传感器探头。

ZW系列 特点 2

安装面积减小到1/7*

*与本公司过去的产品相比

过去的三角测距中,根据不同材质,使用必须区分漫反射•正反射安装。但是,ZW系列为同轴共焦点,因此不必变更安装方式。

ZW系列 特点 3

互不干涉地排列安装

ZW系列 特点 4

使用过去的三角测距传感器时,由于相互干涉或受装置空间的限制,有时甚至无法安装在需要测量的位置,如果使用小型ZW系列,可进行多点•排列安装。

无论什么样的材质都可稳定测量,具有优异的角度特性

即使多种材质混在一起,按照同一安装方式也可稳定测量

不用针对每种材料进行传感器的重新安装或功能的调节,对于多种材质混在一起的对象物也可用1个传感器,一种安装连续测量。

ZW系列 特点 6

在材质变化节点处也可稳定测量

ZW系列 特点 7
ZW系列 特点 8

(所记载的测量曲线图都是代表例。)

优异的角度特性

按照过去的三角测距方式,测量镜面体时,传感器的安装角度不同,性能可能会发生很大的下降。
在玻璃输送高度控制等使用多个传感器的应用中,安装时必须对各传感器进行高精度的角度调整。
使用同轴共焦点ZW系列时,无需严格的角度调整就可进行高精度测量。
因此,即可降低调整夹具的成本、空间,也可缩短调整时间。

* 这不是保证值
 关于代表例请参考样本

ZW系列 特点 9

坚固的传感器探头构造

无干扰【减少因采取EMC措施所需工时数】

不受干扰影响

ZW系列 特点 13

为了使用一般传感器进行高精度测量,必须采取相应措施,以避免周围设备发生的电磁干扰的影响。但在ZW系列传感器探头中不存在受干扰影响的电子部件,即使安装在动力部附近也可进行稳定测量。而且,连接传感器探头和控制器的光纤,即使布置在动力线等容易产生干扰的电缆附近,也不受其影响。

不产生干扰

ZW系列 特点 14

在ZW系列传感器探头或光纤中不存在电子部件,不会产生电磁干扰,因此可放心用于组装有各种仪器设备的装置中。

发热量为零【可减少散热设计所需工时】

ZW系列 特点 15

高精度控制装置设备时,传感器探头产生的热量一般会对周围的设备元件产生影响,成为发生误差的原因之一。由于ZW系列传感器探头中没有发热源,不会对周围的机器设备造成影响。另外,在需要比邻安装多个传感器探头的应用中也可放心使用。

无电子部件【减少维修保养成本】

ZW系列 特点 16

由于位移传感器大多数安装部位会受到工作部等部位所产生振动的影响,因此不容易损坏也是很重要的。ZW系列传感器探头仅由镜头和光纤构成,不含电子部件和基板。
构成部件数与过去的三角测距相比大幅减少,是一种不易发生故障的结构,维修保养次数也大幅减少。另外,由于使用LED光,不必采取激光光源那样严格的安全措施。

设备控制网络EtherCAT

EtherCAT是一种经过优化非常适用于设备控制的高速开放网络。为了以更高的精度、更有效率地设计利用感测结果控制设备动作的设备控制应用,经过不断发展。已经开始在欧姆龙的位移传感器ZW内进行EtherCAT通讯升级。

高度信息无位置坐标的结合

利用Eth而CAT与伺服驱动器或编码器输入子机相连接,可高速获得位置坐标和ZW的位移量。由于高度信息与XY位置坐标很容易建立联动关系,因此在设备控制用途中,可提高与高度相关的加工精度,在检验用途中,可在异常部位判定,倾向管理等维修保养方面发挥作用。

ZW系列 特点 18
 
 
 
ZS-HL

2D CMOS激光型

ZS-HL

超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量

超高性能传感器支持大范围超精确测量的核心质量

测量中心距离为20 ~ 1,500 mm的各种型号。
最大分辨率达0.25 μm。
最大响应速度达110 μs。
支持并行输出。

ZS-HL 特点 3 ZS-HL_Features1
ZS-HL 特点 4 ZS-HL_Features2
ZS-HL 特点 5 ZS-HL_Features3

超稳定性

最佳尺寸/稳定性
传感器尺寸

重视性能的最佳传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。(参见注释)

ZS-HL 特点 9 ZS-HL_Features4

注:ZS-HLDS2T 不可用。

卓越的移动分辨率
透视分辨率提升

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率,使光学系统最优化,从而大幅度降低移动分辨率误差(因工件表面位置引起的误差)。

ZS-HL 特点 13 ZS-HL_Features5

材质间误差降低
2维CMOS

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象,不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

ZS-HL 特点 16 ZS-HL_Features6
ZS-HL 特点 17

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。
因此,可以更方便地应用于检测对象物。

ZS-HL 特点 19 ZS-HL_Features7
ZS-HL 特点 21 ZS-HL_Features8
ZS-HL 特点 22 ZS-HL_Features9
ZS-HL 特点 23

行业首创的1,500mm长距离检测,可以测量以往无法测量的点。

ZS-HL 特点 25 ZS-HL_Features10
ZS-HL 特点 27 ZS-HL_Features11

注:此功能可能在明亮环境中无效。

ZS-HL 特点 29

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

ZS-HL 特点 31 ZS-HL_Features12
ZS-HL 特点 32 ZS-HL_Features13

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜,采用的光学结构设计最适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度,并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

ZS-HL 特点 34 ZS-HL_Features14
ZS-HL 特点 35

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。

ZS-HL 特点 37 ZS-HL_Features15

令人难以置信的测量精度0.25μm,同级产品的最高水平。

ZS-HL 特点 40 ZS-HL_Features17

密封调和器的高度控制

ZS-HL 特点 42 ZS-HL_Features18

HDD用电机旋转座的光盘播放检查

ZS-HL 特点 44 ZS-HL_Features19 
 
 
ZS-L

2D CMOS激光型

ZS-L

最适合各种高精度检测的标准传感器位移测量,包括点检测、大范围检测和长距离检测

最适合各种高精度检测的标准传感器位移测量,包括点检测、大范围检测和长距离检测

光束形状
点/线光束选择
各种产品
长距离型、中距离型和短距离型

ZS-L 特点 3 ZS-L_Features1

同类产品中最小型的传感器头中蕴含着先进的传感技术

同等产品中的最小尺寸(65×65mm)
传感器头尺寸统一
线/点光束型
可检测黑色橡胶、镜面、透明工作

ZS-L 特点 6 ZS-L_Feature3
ZS-L 特点 7 ZS-L_Feature4

PCB、黑树脂、金属的稳定测量

只需选择合适测量模式、即可实现PCB、树脂、黑色橡胶及其他透光工作的稳定检测(使用以往的反射型激光位移传感器不易处理这些工件)。

ZS-L 特点 10 ZS-L_Features5

稳定测量玻璃

在工作台上稳定测量透明、覆膜、有色玻璃的高度、弯度。
通过2mm线光束实现40mm的长距离稳定测量。
2mm的线光束可降低花岗岩工作台的黑白图案的影响,实现稳定测量

ZS-L 特点 13 ZS-L_Features7

注重稳定测量的线光束型传感器

线光束的平均化效果不易受物体表面凹凸影响,可实现稳定的测量。
适用于希望不受工件表面影响取得稳定测量的场合。

ZS-L 特点 16 ZS-L_Features8

适用于微小工件和形状测量的点光束型传感器

适用于目标测量区域微小、需要激光光束定位再现微小形状的测量。

ZS-L 特点 19 ZS-L_Features9

通过简单易用的HMI实现轻松检测

只需选择高精度模式即可稳定测量黑色橡胶
只需选择透过模式即可稳定测量PCB或黑色树脂。

ZS-L 特点 22 ZS-L_Features10 
 
 
 
Z300

高精度可视位移计

Z300

采用2维CCD方式。驱动图像处理技术的新型位移计

 

Z4M-T30V / T30V2

正反射式CCD位移传感器

Z4M-T30V / T30V2

准确捕捉透明体的表面变位

 
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